华南师范大学学报(自然科学版)

作者：马俊辉, 陈俊芳, 符斯列, 李东珂, 李烨

关键词：电子温度

采用Langmuir静电单探针和双探针诊断技术对微波电子回旋共振（ECR）装置产生的低温低气压氮气等离子体进行诊断.测量结果表明由饱和离子电流计算得到的电子密度约为21010/cm3,而由饱和电子电流计算得到的电子密度仅在11010/cm3左右;由单探针测量的轴向电子温度最高可达7eV,而双探针的测量值最大仅为4.5eV.引入Langmuir受限轨道理论对这些差异现象进行分析,提出电流分离的思想,将电子电流与离子电流分离,证明了受限轨道理论在ECR等离子体中的适用性.解决了使用单探针测量电子温度时直线部分不明显的问题.

来源：2015年第3期

《华南师范大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

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