华南师范大学学报(自然科学版)

作者：崔婧, 唐吉玉*, 伍达将, 刘洋, 朱永安

关键词：KMC方法, 单层ES势垒, 多层ES势垒, 生长温度, 粗糙度

以Cu为原型，利用动力学蒙特卡洛(KMC)方法模拟了在一定的沉积速率下，单层、多层台阶Ehrlich-Schwoebel(ES)势及温度对成膜质量的影响.结果表明，在一定沉积速率和ES势垒下，薄膜的粗糙度在一定范围内随着温度的升高而降低，当多层ES势垒大于单层ES势垒时，此温度范围受单层ES势垒的影响，而与多层ES势垒关系不大；当单层ES势垒大于多层ES势垒时，多层ES势垒与粗糙度下降的起始温度密切相关，单层ES势垒与粗糙度趋于平稳的温度相关.

来源：2015年第5期

《华南师范大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

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